お客様に合わせたカスタマイズが可能！クリーンルーム環境にも適用します！
『XDV-μ SEMI』は、微小部膜厚測定にすぐれたエネルギー分散型 蛍光X線測定装置です。 当製品の測定では、信頼性のある高精度な測定が可能なため、ナノスケールの UBMメッキ、C4はんだバンプ、鉛フリーはんだ銅柱、極小ランディングパッドや 2.5D/3Dパッケージソリューションなどの膜厚測定と組成分析ができます。 【特長】 ■自動化による安全性 ■お客様に合わせたカスタマイズが可能 ■きめ細やかなユーザビリティとメンテナンス性 ■別々の端末で構成されているため操作がしやすい ■クリーンルーム環境にも適用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■ウェハー供給部：BOLTS互換のロードポート搭載し、様々なSEMI規格のウェハーポッドに適用 ■ロボット：信頼性の高い4軸、サーボ駆動 ■エンドエフェクタ：標準吸引式エンドエフェクタ ■位置決め：回転軸およびリニア軸によるアライメントステーション ■X線検出器：シリコンドリフト検出器（SDD） ■X線管球：マイクロフォーカスチューブ ■プライマリフィルター：4種類 ■X線集光：ポリキャピラリ― ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途例】 ■ナノスケールのUBMメッキ ■C4ハンダバンプ ■極小ランディングパッドや2.5D/3Dパッケージソリューション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
FISCHER 製のポケットサイズの膜厚計から蛍光X線方式の膜厚測定器、分析器からフェライト組織量の検査器や導電性計、硬さ試験機などを製造、販売するメーカーです。 高品質な膜厚測定器は、ヘルムート・フィッシャー社設立から60年を超える豊富なノウハウや産業経験、そして著名なパートナーとの共同研究の結果です。フィッシャーは適切なアドバイス、きめ細かなサービスと実用的な訓練セミナーを提供し、貴社の有能なパートナーでもあります。 今日、 FISCHER製品は世界中の産業、研究、そしてエンジニアリングのすべてのフィールドで幅広く活用いただいています。