ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。
【特長】 ■インバータ内蔵により流量特性を可変可能 ■外部信号により運転、停止が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【仕様】 〇サイズ ・W598×D548×H1224（mm） ○重量 150Kg ○吐出流量、圧力 ・33.5L/分、5MPa ○供給エア圧：0.4～0.7MPa ○純水仕様圧力：0.3～0.4MPa ○アラーム機能 供給水圧低下 インバータ出力異常
価格情報
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納期
※※お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
【用途】 ・研磨ウエハの洗浄
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| KPM-5030 |
カタログ（1）
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
「きっと、未来にいるものを。」をテーマとして、半導体製造装置周辺機器の 設計、製作を主体にお客様のニーズに対応した製品開発を行っています。 私たちの保有する技術がさまざまな分野で製品化され、お客様に役立てればと 思っております。研究開発や試作などお客様のアイデアをもとに製品化することに 社員全員が情熱を持って取り組む会社です。 心より皆様方のお問い合わせをお待ちしております。