作業環境、現場での大粒子パーティクルの管理システム構築のための技術資料です
『パーティクルカウンター』は、コンタミネーションコントロール 分野の製品を取扱っている、株式会社エアリーテクノロジーの 光散乱方式微粒子計です。 運用モデルでは、OPC単独での作業の局所・動的管理や、 蒸着機などのシステムと連動運用で、チャンバーオープンから 次ロットの基板投入までの工程管理を行っています。 当資料では、これらパーティクルカウンターの概念や改善ポイント、 近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさなど、大粒子パーティクルの 管理システム構築に関する様々な内容を、図表を用いてご紹介しています。 【掲載内容】 ■蒸着業界での現在までのパーティクルカウンター(OPC)の概念 ■近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさ ■薄膜膜中のコンタミサイズの表面への影響 ■要求レベルから算出した基板上のコンタミサイズ ■薄膜コーティングにおいて管理すべきコンタミのサイズ など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【掲載製品】 ■OPC8000シリーズ ・PP 8303：3粒径 0.3μm～10.0μm ・PP 8306：6粒径 0.3μm～10.0μm ・PP 8506-10：6粒径 0.5μm～10.0μm ・PP 8506-20：6粒径 0.5μm～20.0μm ・PP 8506-30：6粒径 0.5μm～30.0μm ■ダスカー300A：300μm以上の落下塵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
▼プラスチック・金属部品の加工から、理化学機器・半導体・バイオ関連機器まで幅広く取り扱っております。確かな技術力を基に、細かなご要望にお応えして製造を行なう特別注文も承っております。▼「環境を創造する」ソリューションカンパニーとして、温暖化やエネルギー問題など最先端の課題に注目し、これからの環境社会に適応できる商品の開発にも積極的に取り組んでいます。 ▼工場内には、金属や樹脂をコンピューター制御によって加工する大型工作機械を導入。ニーズに合わせて金属と樹脂を自在に組み合わせるなど、多様な製品に対応できる生産システムを確立しております。▼クリーンルームで品質の実証検査を行ない、皆様に安心してご使用頂ける製品を製造しております。 ▼私たちのモットーは「全スタッフがエンジニアであること」。社員全員がエンジニアとしての自覚を持ち、一丸となってプロジェクトに取り組みます。お客様のご要望には迅速かつ的確に、全力で対応いたします。 【クリーンブース特設サイト】 http://clean-booth.jp/ 【理化学機器特設サイト】 http://cols.asia/