検査不感帯領域を極限まで低減！輝度の小さな異物もとらえます。
当社では、お客様のライン構成に合わせお選びいただけるよう 数種類の『異物検査装置』をご用意しております。 当製品は、他社の異物検査機に比べ検査不感帯領域が大幅に少なく、検出が 広範囲です。 また、カメラ配置及び検査光源に特長があり、輝度の小さな異物も とらえる事が出来ます。 【特長】 ■他社の異物検査機に比べ検査不感帯領域が大幅に少なく検出範囲が広い ■輝度の小さな異物もとらえる事ができる ■多品種の基板に対しても光源波長を切替可能 ■検査不感帯領域を極限まで低減できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【異物検査機の種類】 ■検査ステージ上に置かれた基板を複数台のエリアセンサーで検査 ・エリアタイプ ■検査ステージ上に置かれた基板を異物検査機を移動スキャンさせて検査 ・スキャンタイプ ■コンベアーで搬送中の基板の表面の異物を検査 ・コンベアータイプ ・裏面異物検査タイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■露光前の異物検査 ■コンベア上ガラス基板の表面及び裏面の異物検査 ■ステージ上ガラス基板の表面異物検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
光学技術と精密技術を融合した新製品開発に関する試作品・特注品などの開発・設計・製造販売をしており、この先未来でも、エフケー光学研究所が存在価値ある企業であり続けるために、日々挑戦（チャレンジ）を続けています。