有機物の除去・クリーニング可能！ガス導入せず残留大気で処理するタイプよりも安定したプロセスが実現
当社の真空プラズマ製品は洗浄やエッチング、薄膜形成など幅広い研究で利用されています。 ガス導入型「YHS-G」は複数のガス導入に対応し流量調整や細かな処理条件の設定が 可能な高機能製品として研究や生産現場でも利用されています。 今回「YHS-O」をシリーズのラインナップに加え、 ガス導入は酸素に限定し、本体の機能や構造を見直して新たに開発しました。 当社従来品の約 1/3 の価格設定で提供、また短納期化も可能にしました。 更に、ガス導入せず残留大気で処理するタイプよりも安定したプロセスが実現しました。 【用途例】 ■有機物の除去・クリーニング →実験用具のドライ洗浄や接着の前処理 ■表面の活性化、水酸基の付与 →細胞培養容器など、バイオ・医療分野で ■PDMSとガラスの接着剤を使わない貼合わせ →マイクロ流路の作製 ※お問合せまたは、下記よりカタログをダウンロードしてご覧ください。
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基本情報
■仕様 型式YHS-O （※O＝オー） 外形寸法（W)210×(D)230mm×(H)315mm （突起部分を除く） ステージ（処理電極）寸法Φ100mm ・ 電極間距離 60mm 重量約6.0 kg 動作ガス標準：O２ 排気調整調整不可 タイマー設定値：0〜9999 秒（1 秒単位） ※お問合せまたは、下記よりカタログをダウンロードしてご覧ください。
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企業情報
魁半導体は2002年9月に京都工芸繊維大学発のベンチャー企業として設立。プラズマ技術を用いた表面改質装置や堆積装置の販売をおこなっている。2010年に発売した粉体プラズマ装置は高い技術力が評価され『関西フロントランナー大賞』『中小企業技術賞』を受賞する。 全国の大学・産総研・大手メーカー・R&D部門で多数導入実績有り。 実物(デモ機)に触れて頂いてからの販売を提案します。 また、レンタル・リースにより、お客様のご負担を軽減したご使用方法も提案致します。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。
