顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で 上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で マークズレをサブミクロン測定します。 【基本構成（抜粋）】 ■MEMS 顕微鏡 本体 ■三眼鏡筒 ■接眼 10 倍 ■XY ステージ ■カラーカメラ2台 ■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト 他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【オプション】 ■対物 ELWD20,50,100(2) ■TSV 微小径深さ測定アダプタ ■厚み段差測定機、0.1μm フォカスエイド+変位計(2)カウンタ ■赤外顕微鏡ユニット Si透過画像と可視カメラ画像の比較計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■パターンズレや通り違い検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。
