MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター
『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤の使用が可能です。 【特長】 ■塗布材料の塗着効率が高い ■常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要 ■粒径の大きな固形物が混合されている材料の使用可能 ■排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応可能 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤の使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■テーブルサイズ：300mm×300mm ■可動範囲：左右400mm×前後450mm×上下120ｍｍ ■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用 ・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可 ・薬液流量設定：0.1～10ml／min ■電源：単相AC100V±10％ 50／60Hz 1kVA 程度 ■排気：チャンパー排気：15m3／min 以上 φ150排気 ■吸気：上部に換気雇用不織布フィルタ 設置 ■動作エアー：ノズル供給用エアー(N2) 6φチューブ接続 400kPa以上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【装置の使用例】 ■自動車：ランプ、フロントガラス、バンパー等 ■レンズ：ハードコート、反射防止膜、防曇膜等 ■太陽電池：TiO2、保護膜、着色膜等 ■化合物半導体：高輝度LED等 ■MEMS：レジスト等 ■液晶：レジスト、ブラックマトリックス、Mgo等 ■有機EL：高分子等 ■プリント基板：鋼膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
有限会社浦野技研は、高圧関連装置、半導体関連装置（電気炉関連・CVD） 自動精密測定装置及び、自動制御全般の設計製作を行っております。 変動圧力制御方式のコントローラ搭載の先進高圧窒素ガス発生装置 「CINPRES 1X1VP30R」などを取り扱っておりますので ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
