ウェハの表面温度均一性に優れ昇降温特性にも優れたヒーター
新しい形状の半導体熱処理炉用ヒーターです。ウェハの表面温度均一性と昇降温特性に優れています。 【特長】 ■制御熱電対 ヒータ側壁挿入方式 (制御用4箇所、過温保護用4箇所、アジャスト機構あり) ■断熱材材質 外周：ファインフレックスペーパー 内周：高純度ファイバーモールド ※総合カタログ進呈。詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
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企業情報
半導体関連企業を中心にあらゆる業界にあらゆる商品を提案する。 ◎カーボン・セラミックス・金属・樹脂等の加工品の取扱。 (豊富な業者を擁しお客様のあらゆるニーズに対応可能) ◎自社製品の販売促進。 (縦型炉用ヒータ、N2ヒータ、自動車制御装置用診断ユニット等) ◎業界を超えた豊富な取扱品の中から、お客様のニーズを満足させる商品を提案。
