加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現！※描画デモ可能
通信用半導体レーザーのDFB-LDの生産用に適したモデルです。微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた50kV加速電圧を採用した主力製品です。 【特長】 ■単結晶ZrO/Wを採用したＴＦＥ電子銃 ■抜群のビーム電流安定性、ビーム位置安定性 ■加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現 ※描画デモできます。詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
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基本情報
クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして20年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。 ビーム径：2nmΦ以下 最小線幅：10nm以下 加速電圧：50kV, 30kV ステージ：4インチ, 6インチ, 8インチ対応 ※仕様詳細についてはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
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企業情報
クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして20年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。最近では、世界最高レベルの加速電圧を誇る130kVのXYZ型描画装置CABL-UHシリーズも販売しております。