IV/CV､パルスドIV､1/fノイズ､RF測定用フルオートオプションWaferWallet搭載可能300mmオート・プローバ
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した300mmオート・プローバー。フルオート・プローバーにアップグレード可能なWaferWalletオプション搭載可能機種 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
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基本情報
オンウェハーの多様なアプリケーション対応 ・デバイスモデリング: DC-IV, DC-CV, パルスドIV,ESD, 1/fノイズ測定 ・RF/ミリ波高周波測定: ～110 GHz、110 GHz以上 ・WLR: 正確なストレスおよび測定条件が設定可能 WaferWalletオプション ・手動でウェハーを出し入れするために考えられた人間工学的に基づく設計、5つの独立したトレー ・同型ウェハー5枚まで複数温度範囲にてフルオート測定が可能 ・独自の技術により低温/高温にてもウェハーの出し入れが可能 ShielDEnvironment ・1/fノイズ測定に最適な高性能EMI / RFI / 遮光環境を実現 ・fAレベルまでの超低雑音IV測定が可能 ・測定の操作性、オートメーションにプログラマブル顕微鏡移動機構 ・広温度範囲に対応(-60～300℃、測定構成にも柔軟に対応 ・被測定物を簡単に前面よりロード可能 ・一体型アクティブ防振機構 ・Safety Test Management機能により露点を自動制御(オプション) ・チラーのプローバー内組み込みにより小型設計を実現
価格情報
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納期
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用途／実績例
12インチ(300mm)フルオートオプション付き高性能オート・プローバー
詳細情報
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WaferWallet WaferWalletをご使用いただくことにより、測定機能を損なうことなくフルオート・プローバとして測定の自動化が可能に
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WaferWallet ズーム写真 異なる温度で5枚までの同一ウェーハを用いた全自動テストが可能になりました。
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ウェハーを入れた状態のWaferWallet 150、200、または300 mmのウェハーが収納可能
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人間工学的な作動高 従来に比べて作業効率を考えた作動高に設計を変更
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企業情報
MPI AST事業部は研究開発用プローバーおよび高周波プローブ関連製品を取り扱っております。 ・デバイス・モデリング、 RF /ミリ波、WLR、ハイパワー、不良解析における50年相当の豊富な経験 ・将来を見据えた斬新な考え ・WWでのお客様、協業者とのパートナーシップ を主軸にお客様のご要望に合った製品を提供してまいります。 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707