高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術をサポート！
当社は、半導体製造分野、有機EL製造分野及び先端研究分野において、 『API-MS』を用いた高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術を サポートしています。 配管工事の施工実績としては、カミオカンデの次世代検出器XMASS用の ガス供給設備やJAXAのはやぶさII帰還チェンバー用ガスサンプリング システムなどがあります。 また『API-MS』法が、高感度なフィルムのガス透過性評価装置として ISO登録されました。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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【関連品】 ■フィルムガス透過性評価装置『API-BARRIER』 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、大気圧イオン化質量分析法”APIMS”のさらなる発展を願って、 APIMSを中心に高感度ガス分析関連技術全般にわたるサービスを ご提供しております。 高感度ガス分析装置「FLEX-MS400」をはじめ、フィルム透過性評価装置(検査法としてISO登録)、昇温脱離ガス計測装置などを取り扱っております。 カミオカンデのXMASSやJAXAのはやぶさ2のカプセルを開けるためのキュレーション設備（惑星物質試料受け入れ設備）の高純度窒素ガスのモニターに使用されています。