飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリング！
半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。 また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。 プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分を リアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、 さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。 高分解能を有し、リアルタイム測定が可能な質量分析装置であるカノマックスの『infiTOF』は、より高品質な製品の研究・開発・製造をサポートします。 【ソリューション】 ■プロセスガスのリアルタイム測定 ■現場測定に対応したポータビリティー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【infiTOFの特長】 ■マルチターン TOF アナライザ ■可搬性に優れたコンパクト設計 ■定現場でのリアルタイム測定 ■高分解能、精密質量測定 ■省エネ設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社の企業理念である“独創と革新に生きる”は、当社の創業理念でもある“独創に生きる”というコンセプトと、新経営体制の発足にあたり最も重要な概念として掲げた“革新＝イノベーション”の2つのアイデアを統合したものです。“独創”とは創造性の発露であり、大変心躍る言葉でもあります。 また、いわゆるオンリーワンの製品やサービス、技術を産み出すことでもあり、当社の存在意義として今後も未来永劫大切にしていってほしいという願いがこめられております。 “オンリーワン”を産み出すためにも、日々絶え間なき革新を続け“ナンバーワン”を目指し続けようというのが、企業理念に込められた想いです。