精度に対する絶対的な信頼でLCDトータルピッチ測長機として実績を蓄積!
『SMICシリーズ』は、グラナイト製石定盤、高精度セラミックエア スライダーとファイバー式レーザー干渉測長システムによる 高精度XYステージ、高平面度ガラステーブル、高性能サーマルクリーン チャンバーなど、高精度測定を実現するあらゆる技術を駆使した 精密自動2次元座標測定機です。 LCD、有機ELからフォトマスク、光コネクター、TAB、MEMS等の 精密寸法測定にも、その実力を発揮します。 【特長】 ■高度な精度保証体系 ■高精度XYステージ駆動 ■高分解性能光学顕微鏡とLED照明光源(オプション) ■ファイバー式レーザー干渉計 ■テーブル平面度調整機構 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■SMIC-300 III ■SMIC-800 III S ■SMIC-800 III 他 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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当社は、主にFPD(フラット・パネル・ディスプレイ)をはじめとする 電子・電機業界において、計測装置を核に事業を展開しております。 これまでの実績で蓄積した精密機構・レーザー技術・画像処理・光学技術等の 要素技術を融合して、先進の測定技術による商品をお客様にご提案することを 通して、測ることのソリューションをお届けいたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。