最適条件の探索に!多次元表示チャートの活用事例をご紹介!
詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生成速度最小)となる操作点を探索しました。 計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる ことが明確となり、その後「modeFRONTIER」の多次元表示チャートから 選好解を抽出することに成功しました。 【事例】 ■使用ソフトウェア:modeFRONTIER、CHEMKIN ■目的:エッチングプロセス最適条件の探索 ■効果:多次元表示チャートを用いて選好解どうしを比較 ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【多目的ロバスト設計最適化支援ツール「modeFRONTIER」の特長】 ■先端の最適化手法、実験計画法、応答曲面近似手法を搭載 ■多目的ロバスト設計最適化・多目的許容差設計最適化に対応 ■統計分析、多変量解析、CAPなどの多彩なポスト処理機能を搭載 ■日本語環境(Windows)・英語環境に対応したインターフェース ■様々な ツールにダイレクトにアクセス可能な専用ノードを標準搭載 (CATIA V5、ANSYS Workbench、MATLAB、LabVIEWなど) ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
常に最先端のデジタル・エンジニアリングによるバーチャル・プロダクトおよび協調設計プロセスを構築する技術を我々の範疇としながら、MBD・CAE技術とその周辺技術領域へフォーカスしています。 時代をリードする最先端のSWベンダーとパートナーシップを結び、熱流体解析から構造解析、電磁場解析、音響解析、システムシミュレーション、最適化技術、組込みソフトウェア開発環境、解析利用技術を支えるシミュレーション・プロセス・データ・マネジメント(SPDM)ソリューション等、国内トップレベルのデジタル・エンジニアリング技術で、多様化・複合化するお客様の課題を解決するために必要なエンジニアリング環境をトータルでご提案します。 公式ブログ https://www.idaj.co.jp/blog/ IDAJ Youtube Channel https://www.youtube.com/channel/UCGCd8pB5Lwq_noIoxpgJrrw/featured X https://twitter.com/IDAJ_CAE Facebook https://www.facebook.com/IDAJ.CAE