各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
『UPPU-10LR』は、工場の超純水供給ラインの圧力が不足している場合に使用する昇圧ユニットです。 昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行い、圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有します。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■エア駆動ベローズポンプを使用した超純水用のモデル ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【仕様】 〇吐出圧力：0.4MPa max 〇吐出流量：7L毎分 0.2MPa時 〇駆動エア圧力：0.2～0.4MPa 〇エア消費量：50L毎分 〇脈動防止：アキュムレータ内蔵 〇接液配管材質：テフロンPFA、または、PTFE 〇漏水検知：ワイヤー式漏水検知器内蔵
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種洗浄装置 ■スピンドルモータ冷却 ■バリ除去 ■ウエハスピン洗浄用 【実績例】 工場設備として使用
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| UPPU-10LR |
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
「きっと、未来にいるものを。」をテーマとして、半導体製造装置周辺機器の 設計、製作を主体にお客様のニーズに対応した製品開発を行っています。 私たちの保有する技術がさまざまな分野で製品化され、お客様に役立てればと 思っております。研究開発や試作などお客様のアイデアをもとに製品化することに 社員全員が情熱を持って取り組む会社です。 心より皆様方のお問い合わせをお待ちしております。