１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。 パルスモニタとしても最適です。
・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。 ・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。 ・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。
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基本情報
・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体ファウンドリの量産現場で、エッチング装置、CVD、スパッタ等のパルスモニター、アーク検知器として実績がございます。
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企業情報
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。
