-60～300℃の温度範囲で低ノイズ、低リーク測定が可能！
ShielDEnvironmentマニュアルシステム『TS200-SE』は、EMI対策、 RFI対策、遮光に優れた設計がされており、様々な測定に対応した 高低温温調対応機種です。 温調システムとの組み合わせで、最大範囲-6～300℃の温度範囲で 低ノイズ、低リーク測定が可能です。 【特長】 ■「TS200-SE」 ・最大8インチウェハ対応 ・低ノイズ、低リーク測定が可能 ■「TS300-SE」 ・最大12インチウェハ対応 ・様々な測定やセッティングに対応可能な広いプラテン ・操作性に優れたXYステージコントロール（ロック機能付） ・大型ながら容易な操作が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ベクターセミコン株式会社は、東京都荒川区にある半導体、液晶パネル業界向けの研究開発用に特化したプローバの製造、販売、サービスを行っている会社です。 半導体解析装置をはじめ、セミオートプローバーや温度コントロールシステム、その他解析装置などを取り扱っております。