極めて高い精度で対象物の表面検査をすることを実現
製品の細やかな欠陥を検出する画期的なシステムが登場
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ニューロイメージングシステムとは、人間の視覚、視神経や網膜機能を構造的に分析し、電子回路に置き換えることで、極めて高い精度で対象物の表面検査を実現することを可能にした技術です。人間の錐体の数は600〜700万個と言われておりますが、それをはるかに上回る毎秒2,000万点で読み取ることで精度と速度の両立を実現しました。視細胞の中でも網膜の機能に着目し、明度の分解能を204,800段階にまで向上させることで、製品の細やかな欠陥を検出する画期的なシステムです。また、従来の目視検査では、人間の視覚は微小構造に着目する(傷検査)と色覚(色検査)がおろそかになり、また逆に色覚に注意を向けると微小構造を見逃します。この問題を、ニューロイメージセンシングはプロセッサを並列処理させることで解決しています。半導体製造時において、深い被写界深度と低コントラスト微小欠陥の可視化が可能な画期的な装置です。
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半導体外観検査 自動車車体、部品、タイヤ 燃料電池セパレータ 建築、構造物
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