8インチタイコウェハ対応！透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装置
『SYAR120』は、卓上型ロボットとアライナ、マクロユニットを組み込んだ 8インチタイコウェハ対応顕微鏡マクロミクロ検査装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、マクロユニットへ搬送し、 表裏面を観察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に顕微鏡XYステージに供給 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■LED/MEMS/パワーデバイス分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。