クランプハンド用制御ラインを装備！ロボット＋スライダシステム
『SSR1160+S2244-S001』は、リンク式シングルアームロボットと スライダからなるシステムです。 クランプハンド用制御ラインを装備。 前後方向の端面をクランプし、基板を保持します。 全軸エンコーダ付2相パルスモータを装備しています。 【特長】 ■基板保持：前後方向の端面をクランプ ■全軸エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■各種センサ装備 ■RS232C制御又はパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■アーム ・動作範囲：513mm ・搬送速度：513mm/1.2sec ・分解能：15μm以下 ■旋回 ・動作範囲：330度 ・搬送速度：180度/1.0sec ・分解能：0.00359度 ■上下 ・動作範囲：330mm ・搬送速度：330mm/1.2sec ・分解能：5μm ■スライダ ・動作範囲：2244mm ・搬送速度：2244mm/3.5sec ・分解能：12.5μm ■被搬送物：150×150×6.35t ガラス基板、150×150×3.0t ガラス基板 ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。
