直径3インチ、4インチ、6インチのSOSウェーハ（シリコンオンサファイアウェーハ）のご紹介が可能です。
SOSウェーハはサファイアのR面の基板上にシリコンをエピタキシャル成長させたウェーハです。 圧力センサーなど様々なデバイスに使用されています。また放射線に対する耐性が高いのが特徴です。 3インチ(76mm)、4インチ(100mm)、6インチ(150mm)のSOSウェーハをご紹介可能です。仕様によりますが8インチも対応可能な場合がありますので是非お問い合わせください。 エピ層のドーパントはN型はPhosphorous、P型は Boronになります。 少量から対応可能です。
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基本情報
標準的な主な仕様は下記のようになります。 直径：150ｍｍ エピ厚：0.3um+/-10% 面内均一性 um (%)：0.05um(16.7%) エピ抵抗：>30ohm cm UVR：<1.0 直径：100ｍｍ エピ厚：0.3um+/-10% 面内均一性 um (%)：0.05um(16.7%) エピ抵抗：>30、5-30、2.5-10 ohm cm UVR：<1.0 直径：100ｍｍ エピ厚：0.6um+/-10% 面内均一性 um (%)：0.09um(15%) エピ抵抗：>30、5-30、2.5-10 ohm cm UVR：<0.75 主な仕様は上記になりますがご希望の仕様がある場合はお問い合わせください。
価格情報
直径、仕様、数量によって変わりますのでお問い合わせ下さい。
納期
※製品により短納期が可能です。
用途／実績例
圧力センサー等に様々なデバイスに使用されています。
カタログ（1）
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企業情報
エナテックはシリコンウェーハ関連製品を多数取り扱っており、お客様の御要望に迅速、的確に対応いたします。 設立後40年有余年、Si分野を中心に半導体産業の一角を支えてまいりました。国内外のシリコンメーカー・加工メーカーの協力により、日本のみならず海外市場へも安定的にシリコン材料を供給しています。 半導体及び太陽電池製造メーカー等への評価用テストウェーハ・成膜ウェーハ販売(及び再生加工等の受託加工）を主とし、ダミーウェーハの分野においても、国内にSiの選別工程の倉庫を2箇所有し、お客様のニーズにお答えすべく様々な種類のウェーハをご紹介させて頂いております。 CZシリコンウェーハ以外にもFZシリコンウェーハ、SOIウェーハ、拡散ウェーハ、ＳｉＧｅ，ＧａＡｓ、InP、サファイア、ゲルマニウム、SiCウェーハ、半導体用中古装置、フェライトコア、酸化鉄、高純度化学物質等も取り扱っています。