自公転式サンプルホルダーを採用！カスタマイズ可能なバッチ式大型コーティング装置
当社で取り扱っている『バッチ式FCVA装置』をご紹介します。 自動車部品やプリンター部品等の摺動部品への成膜に有効に 用いられています。 自公転式のサンプルフォルダーにより、均一な膜厚分布を示しています。 【特長】 ■自公転式サンプルホルダーを採用 ■カスタマイズ可能 ■生産性の向上に寄与 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【構成例】 ■FCVAソース：6基 ■スパッタソース：2基 ■イオンビーム：1基 【チャンバーサイズ】 ■φ1000 x 600 in height ■φ1200 x 1000 in height ■φ1500 x 1500 in height ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。