高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能！大量生産に適したインライン式スパッタ装置
当社の『インラインコーティングシステム（スパッタ）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式スパッタ装置。 高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能です。 金属膜をはじめ、セラミック膜、フラットパネルディスプレーなどに お使いいただけます。 【特長】 ■最大基板サイズ：<3m(L) x 1.5m(H) ■均一性：±5％以内 ■90°垂直搬送システム ■チャンバー数を任意に選定可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■金属膜 ■セラミック膜 ■フラットパネルディスプレー ■ソーラーパネル ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。
