4ポートソーターを高速化しスループットを向上！6・8インチウェハ対応です
当製品は、4ポートソーターを高速化し、スループットを向上させた装置です。 全てのカセットステージが昇降機能をもち、取出し用と収納用のロボット 2台によるソーティングを行います。 また、1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■全てのカセットステージが昇降機能をもつ ■取出し用と収納用のロボット2台によるソーティングを行う ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 総合移載が可能 ■工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装備】 ■シングルアームロボット2台 ■アライナ ■IDリーダー ■昇降式4ポートステージ ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。