カセットステージ4ポートを持つ！6・8インチウェハ対応の装置をご紹介します。
当製品は、カセットステージ4ポートを持ち、ウェハID読取りによる ソート機能を搭載した装置です。 1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■ウェハID読取りによるソート機能を搭載 ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能 ■工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装備】 ■ダブルアームロボット(スライドつき) ■アライナ ■IDリーダー ■4ポートステージ ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。
