ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する8インチウェハ対応の装置をご紹介！
当製品は、ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、 観察することができます。 マクロユニットでは、ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能。 ミクロユニットでは電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動するので、 トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、観察 ■マクロユニット：ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能 ■ミクロユニット ・電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動 ・トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■マクロユニット ■ミクロユニット ■除振台 ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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納期
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。