6・8インチウェハ対応！レーザーマーキング付きの検査装置をご紹介します。
当製品は、マクロミクロ検査装置にレーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などが搭載された装置です。マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には搬送ユニットがウェハを自動供給。マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡観察が行えるほか、上位システムと連携し指定座標にレーザーによる自動マーキングが行えます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■レーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などを搭載 ■マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡観察が行える ■マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には 搬送ユニットがウェハを自動供給 ■上位システムと連携し指定座標にレーザーによる自動マーキングが行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■マクロユニット ■ミクロユニット ■レーザーマーカー ■徐振台 ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。