微振動計測システム『VAS』

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最終更新日：2023年05月23日

三興通商株式会社

半導体工場や精蜜工場での振動調査とコンサルティングの豊富な経験に基づき開発された微振動計測システム

半導体、液晶の製造工程は微細化が進んでおり、現場における振動環境の保全が重要な要素となっています。製造現場における振動環境を把握することにより、設備・製造装置の適切な防振設計を可能にし、トータルなコスト削減が可能となります。ダイナミックレンジの広い24ビットADコンバータを持ち簡単に高精度な測定が可能。計測後は各種グラフでのデータ処理や解析が簡単に出来ます。【特長】 ■各チャンネル独立型ΔΣ型24ビットADコンバータによる幅広い　ダイナミックレンジ ■サーボ型加速度センサーにより、10Hz以下も高精度で測定可能 ■機器接続は現場での使用を考慮し丈夫で接続の簡単な　USBインターフェースを採用 ■測定データはリアルタイムでトリパタイトグラフや1/3オクターブグラフ等で　モニター可能 ■各種使用環境を考慮しAC100-240V,DC,NI-MH充電池の3電源に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

【仕様・性能（抜粋）】 ■センサー：サーボ型加速度センサー 0.5-200 Hz ■測定範囲：プラスマイナス0.001gal～プラスマイナス1000gal ■外形寸法：250W x 450D x 160H cm ■電源：AC100～240V　または単3型ニッケル水素充電池 8本 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。