手動動作タイプ！各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測可能
『IR1300mea』は、高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な 計測が可能 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■電動ステージ、電動フォーカスの搭載も可能（オプション） ■フォーカス軸を長ストロークに設定できますので冶具に搭載したまま ウエハーの検査計測ができる（長ストローク45mmまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装置構成】 ■赤外線顕微鏡本体 対物レンズ 5ｘ、10ｘ、20ｘ、50ｘ、(100ｘ：オプション） ■赤外線カメラ130万画素 ■検査用パソコン 又はノートパソコン ■取り扱い説明書 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ディスクテックの画像処理は社内光学系技術者、レーザー技術者、ハードウェア、ソフトウェア、精密機械技術者がトータルソリューションを提供します。赤外線を応用した検査装置、三次元検査装置など手がけています。自社製品の赤外線顕微鏡は10年以上の実績があります。