超精密加工による「高精度 自由曲面形状加工」ークリスタル光学－

基本情報

【 使用加工機・測定器 】 ●加工機 ・ 超精密加工機 「IL600」 ・ メーカー：INNOLITE社(ドイツ) ＜特徴＞ ・XYZCの4軸構成に加え、W軸(Over Driveという呼称)を搭載。 ・W軸はZ軸と同様の駆動方向(前後方向)だが、ステージ全体が駆動するZ軸とは異なり、工具保持部だけが運動し、高速駆動が可能(ストローク50mm)。 ・XZCの3軸同期加工(STS加工)のみではなく、W軸を使用し、自由曲面の加工時間短縮が可能。 ・DirectDriveという独自のアルゴリズムに基づく処理方法により高精度な追従性を実現している。 ・温度環境・水冷環境を加工機単体で完結し、高いパフォーマンスを発揮する。 ●加工機 ・ 超精密旋盤加工機 「ナノフォーム」 メーカー：アメテック プレシテック（Precitech.Inc) ●測定器 ・ 非接触表面性状測定機　「New View」 ・ 大口径レーザー干渉計　「Verifire」 メーカー：Zygo ・ 超高精度三次元測定機 「UA3P」 メーカー：パナソニック

価格帯

納期

用途／実績例

【分野】 宇宙・天文、車載、医療、精密機器部品、その他

詳細情報

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  ・ 口径30ｍ超大型望遠鏡TMT 中間赤外線観測装置MICHI向け 次世代イメージスライサーユニット 試作加工部品 （東京大学 大学院理学系研究科 天文学専攻：左近 樹 助教授 共同開発・試作） ・ スライスミラーの対となる多曲面一体型ミラーの製作 ・ 複数ミラーのワンチャッキング加工により、機械精度で各ミラーの位置精度を保証。 ・ ワンチャッキング加工によって、複数の軸外し非球面の相対的な位置精度が超精密加工機精度で担保。 ・ ミラー材質:A6061

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  ・東京大学アタカマ天文台(TAO)計画の赤外望遠鏡に搭載される観測装置、中間赤外分光撮像装置ＭＩＭＩＺＵＫＵのミラーを製作。測定機上で測定をしながら同時に光路調整を行い各ミラーを組立。 ・平面鏡、非球面鏡、自由曲面鏡 3種類の形状を含むミラー、計50個

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  ・次世代赤外線宇宙望遠鏡 イメージスライサー型近赤外面分光器ユニットの試作鏡製作 ・SPICAプロジェクトの一環である面分光器の試作鏡、イメージスライサーユニットをナノオプトニクス・エナジー社と共同製作。超精密加工技術により、高精度な要求を達成。 ・ダイヤモンドターニングセンタによるスローツールサーボ加工を活かし、同時に複数の設計値の異なる球面加工が可能。かつワンチャックで同時加工することにより、各球面の誤差を最小にとどめることができます。 ・球面部のみならず、加工や組立時に最も重要となる基準面の精度加工においても、全て自社で行うことが可能。また、全ての工程を自社で行うことにより大幅な納期短縮が可能。

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  ・600×200mm 20kg。超大型かつ高精度な自由曲面光学部品を提供することを可能。 ・主軸回転同期によるＸ,Ｚ,Ｃの同時3軸加工を実用化 スローツールサーボ加工の開発により、スピンドルの回転角度(C軸)と工具座標(XZ軸)を同期させ、回転軸に非対称な曲面(自由曲面)加工の実用化に成功。 ・クリスタル光学では最大径φ700mmもの大口径かつ高精度自由曲面ミラーの加工が可能。

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  ・Nanoform700ultra最大の特徴であるφ700ものストロークを最大限に活かし、高精度自由曲面光学製品の大型化にご対応いたします。 ・最外周部において１回転あたりの工具の前後駆動距離(sag量)は20mm 前後駆動最大速度は2000mm/min