小型化・高機能化が加速する高性能電子部品。多様化する素材にグローバルで支持される光学式3D表面形状測定機『MarSurf CL』
形状測定やキズの検出にかかる時間を大幅に短縮、全数検査も実現可能です。 光沢面・透明な表面の測定に好適。高分解能で、微小なキズの検出や極小部位の測定も可能。 192本のプロフィールを取得するクロマチックラインセンサーCLが 非接触での平面の高速測定を可能にします。 ★PDFダウンロードより測定事例を掲載した資料を進呈中！ 掲載測定事例／電子部品・半導体 他多数 ■測定部品例 - □評価項目例 ■ウエハー -バンプ - □断面粗さ(R／2D)□形状・寸法□ステップハイト□３D高さ・２Dサイズ ■マイクロビア - □ステップハイト□断面粗さ(R／2D) ■ワイヤーボンディング - □ステップハイト（ループ高さ)□トポグラフィーレイヤー□形状 ■表面実装部品 - □位置度、寸法□ステップハイト ■ダイアタッチ - □3D画像□厚さ、高さ□最大高さ□サイズ □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞□形状（高さ、輪郭）□ステップハイト ■フィルム - □厚み ■携帯電話用スピーカー - □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞、平坦度 ■ウエハ― - □研磨□反り
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【MarSurf CLの特長】 ◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定 →平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定！広範囲の測定にも。 →光沢面、透明な表面も測定可能。 →測定対象物にキズをつけない非接触測定。 ◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能 →微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。 ◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用 →さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。 ※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。 ※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
価格帯
納期
※納期についてはお問い合わせください。
用途／実績例
【導入実績】 ・自動車部品 ・電子部品／半導体 ・鉄鋼 ・切削工具 ・太陽光パネル ・医療用高精密部品 ・レンズ ・印刷 【評価項目例 3D／2D】 ・輪郭 ・真直度 ・断面積 ・層厚 ・反り/平坦度 ・形状 ・体積／摩耗 ・表面粗さ(R) ・断面粗さ(S) ※当社ではお客様のニーズに応じたソリューション提案も行っています。 製品・部品の形状測定でお困りの方はお気軽にご相談ください。
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| MarSurf CL |
カタログ（4）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
Mahrは160年以上にわたり、長さ・形状・表面性状測定の分野で世界のものづくりを支えてきたドイツ発の精密測定機器メーカーです。 ノギスやマイクロメータなどの汎用測定機器から、接触式・光学式表面粗さ形状測定機、カスタマイズされた自動測定システムまで、幅広い測定ソリューションを提供しています。 自動車、航空宇宙、工作機械、半導体、医療機器、光学部品など高度な品質管理が求められる製造業において、開発・生産・品質保証の各工程を支援します。 高精度化、多様化する材料や複雑な形状への対応、自動化・省人化といった課題に対し、最適な測定技術をご提案します。 また、機器の提供にとどまらず測定アプリケーションの構築から校正・保守サービス、自動化システムの導入までご相談ください。 豊富な実績とグローバルな技術力を活かし、お客様の品質向上、生産性向上、そして競争力強化に貢献します。
