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オンライン密度計 フォトレジスト液

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L-Dens7400

最終更新日:2026年01月05日

株式会社アントンパール・ジャパン
株式会社アントンパール・ジャパン
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  • 公式サイト

精度密度計により、フォトリソグラフィー工程におけるフォトレジスト液センサー。ネガ型、ポジ型双方に対応。

 L-Dens 7400/7500 は液体の密度値測定に使用するプロセス測定装置です。  溶液、混合液の密度は、多くの場合濃度に正比例します。したがって、測定した密度値を濃度の測定に利用することができます。様々なサンプルに対する検量線の立ち上げが可能であり、そのために、耐腐食性の接液材質が選択可能です。  小型でコンパクトなデザインのため、質量流量測定システムなどに簡単に組み込むことができ、製薬、飲料、エタノール、化学、石油業界で使用されています。また、日本国内の防爆対応をはじめ、様々な規格に適応しており、高い精度と安定性が評価されております。

    その他計測・記録・測定器
L-Dens7400_Pico_s.JPG

オンライン密度計 フォトレジスト液

L-Dens7400_Pico_s.JPG
L-Dens7400_Pico_s.JPG
  • アントンパールのプロセスセンサー
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/anton-paar/product/

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基本情報

初期濃度の調整用 溶剤の揮発分を密度測定による、濃度の自動調整

価格帯

100万円 ~ 500万円

納期

詳細はお問い合わせください

※2か月程度

用途/実績例

その他の実績例: IPA (2-プロパノール)、アセトニトリル、アセトン、アンモニア、1-プロパノール、エタノール、エチレングリコール、NMP、N-メチルモルホリンN-オキシド、塩化アンモニウム、塩化カリウム、塩化カルシウム、塩化ナトリウム、塩化マグネシウム、塩化リチウム、塩酸、過酸化水素、苛性ソーダ、カプロラクタム、過硫酸アンモニウム、ギ酸、クエン酸、グリセリン、酢酸、酸化ジュウテリウム、ジメチルアセトアミド(DMA、 DMAc)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、硝酸、硝酸アンモニウム、硝酸銀、硝酸ナトリウム、食塩、重水、臭化水素、臭化リチウム、酒石酸、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化ナトリウム、スルファミン酸、炭酸アンモニウム、チオシアン酸ナトリウム、ナイロン塩(水中のNylon6-6)、乳化エチル、尿素、発煙硫酸、プロピオン酸カルシウム、プロピレングリコール、ペルオキソ二硫酸アンモニウム、ペルオキソ二硫酸カリウム、ホウ酸、ポリアクリル酸、ポリビニル アルコール(PVA)、ホルムアルデヒド、メタノール、硫酸鉄(II)七水和物 、硫化マグネシウム、硫酸、硫酸アンモニウム、リン酸

詳細情報

  • LD

    プロセス密度   最大 3000 kg/m3 標準の調整範囲  600 ~ 1200 kg/m3 接液部の材質   ステンレス鋼 1.4404 (316L)          ハステロイC-276          インコロイ825          タンタル 繰返し精度  密度測定    0.02 kg/m3 (2 x 10-5 g/cm3)*  温度      0.1 °C プロセス温度   -40~125 °C CIP/SIP     145 °C(30分以内) 周辺温度(非Exバージョン)HMIなし          -40 ~ 70 °C

ラインアップ(1)

型番 概要
L-Dens7400 最も汎用性の高い密度センサー。密度と温度を測定し、濃度に換算することも可能。防爆対応。

カタログ(5)

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オンライン密度センサー L-Dens7400 PI カタログ

オンライン密度センサー L-Dens7400 PI カタログ

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L-Dens7400シリーズ仕様選定チャート

L-Dens7400シリーズ仕様選定チャート

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密度計比較:プロセス用振動式液体密度計 と 質量流量計(コリオリ流量計) 測定原理 比較

密度計比較:プロセス用振動式液体密度計 と 質量流量計(コリオリ流量計) 測定原理 比較

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オンライン密度・濃度計の測定原理の比較と運用実例【入門:防爆にも対応。省コスト・自動化に寄与するアプリケーション】

オンライン密度・濃度計の測定原理の比較と運用実例【入門:防爆にも対応。省コスト・自動化に寄与するアプリケーション】

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CMPプロセスにおけるスラリーのオンラインモニタリング<アプリケーションレポート>

CMPプロセスにおけるスラリーのオンラインモニタリング<アプリケーションレポート>

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企業情報

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アントンパールは、機械工だったアントン・パールによって1922年にオーストリア・グラーツで設立されました。 現在、世界110か国以上で約4,500人の社員を擁し、研究・開発・品質管理に使用される分析機器の開発、製造、販売、サポートを世界規模で展開しています。 アントンパール・ジャパンは、Anton Paar GmbHの100%子会社として日本のお客様へアントンパール製品の販売およびサポートを提供しています。 東京(本社)と大阪(大阪営業所)にオフィスとラボを構え、ラボには粘弾性測定装置、密度・比重計、マイクロ波試料前処理装置など、ほぼ全ての装置を展示しています。 専門のアプリケーションスタッフによるサンプル測定やデモンストレーション、ユーザートレーニングなど、幅広い用途でご活用いただけます。

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