セラミックプレートへの多数枚ウェハー貼付作業を自動化に！
『TEC-1006ZR』は、4インチ対応のウェハーワックス貼付装置です。 ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現。 多数枚ウェハーに対応できます。 2インチは最大10枚、3インチは最大5枚、4インチは最大3枚まで 貼り付けが可能です。 【特長】 ■ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現（当社実績2.5um） ■多数枚ウェハーに対応可能 ■ヒーター、WAX塗布、プレス、冷却などの多彩なレシピに対応可能 ■条件の最適化により高スループットを実現 （当社実績：2インチ×8枚＝15分以内） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■サイズ（幅×奥行×高さ）：940mm×810mm×1680mm/500kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社くまさんメディクスは、半導体技術部、MPSD事業部、営業部の 3つの事業部により構成されています。 日常の行動や活動の中で、社員一人ひとりがお客様の視点に立ち 潜在的ニーズを感受しながら、よりよいものをめざして変革し、 その結果生まれる製品やサービスがお客様にお役に立つものへと 進化していくと考え、チャレンジしていきます。