高電圧にフローティングされた回路の微少電流の測定が可能！
電子ビーム、イオンビームのアプリケーションにおいて既に複数件の実績があります。負荷に対する正確な実電流を測定し、装置本体にフィードバックすることで正確な制御が可能になり、お客様製品の高付加価値化に貢献いたします。
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基本情報
◇供給電源：DC24V ◇印加電圧：+/-30kV（特注で50kVまで対応可能） ◇供給電源：DC24V/0.5A ◇レンジ切替：7桁 100µA,10µA,1µA,100nA 10nA,1nA,100pA ◇制御信号：TTL レベル切替信号 ◇出力モニタ：電圧各レンジ0～10V ◇電流入力：100µA以下 ◇読取誤差：0.2%以下
価格情報
お問い合わせください。 量産時にはOEM価格のご提示も可能です。
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
※カスタマイズの有無、数量によって納期が変動します。お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
高分解能走査電子顕微鏡 電子ビーム描画装置 ナノフォーカスX線装置 イオン注入機 【実績】 ◇minimal Fabシステム：イオン注入機 ◇スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡 (SPLEEM) ◇FE走査電子顕微鏡
企業情報
【TFE電子銃電源】 複合電源としての高性能高圧電源です。例えば30kVのＴＦＥ電源の例ですと、加速電源のリップルノイズは2ppm、安定度5ppm/1hr と他社の性能を凌駕する性能です。 （ユニット構成）加速電源、フィラメント電源、抑制電源、引出電源 静電レンズ用電源、磁界レンズ用電源、制御用ソフトウェア等の制作も可能です。 【ＯＥＭ製作にも対応！】 お客様のシステムに合わせたカスタマイズ、ＯＥＭ製作が可能。荷電粒子ビーム応用システム・X線システムは、“電子光学系に合わせた電源システムを構築する”ことで始めて高分解能、高安定度が得られるというのが当社のポリシーです。当社は荷電粒子ビームに必要な電源を全てソリューションで提供可能です。その他、高圧電源を利用した装置のＯＥＭ製作や、高性能高圧バイポーラAMP、高速パルス電源などの特注品も承ります。 【時代のニーズに合った環境対応！】 当社の高圧電源は独自の空気絶縁構造を採用。ＳＦ６や絶縁オイルは不使用です。結果的にランニングコストを大幅に削減可能です。お客様のコンプライアンス経営を側面よりサポート致します。