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ISBN978-4-86043-631-5

最終更新日:2020年02月26日

株式会社エヌ・ティー・エス
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「21世紀版薄膜作製応用ハンドブック」から17年、基礎を押さえつつ、新規応用分野を充実させ発刊!

■目次 第1編 薄膜材料の特性と特徴  1章 薄膜の特徴と特性  2章 薄膜材料の電気特性  3章 薄膜材料の誘電特性  4章 薄膜材料の固液界面特性  5章 薄膜材料の磁気特性  6章 薄膜材料の光学特性  7章 薄膜材料の力学特性  8章 薄膜材料の化学特性 第2編 薄膜の作製と加工  1章 基板と表面処理  2章 PVD法  3章 CVD法  4章 液相薄膜堆積法  5章 有機・高分子・生体関連薄膜作製法  6章 パターン化技術  7章 薄膜の加工/改質技術 第3編 薄膜・表面・界面の分析・評価  1章 薄膜・表面・界面の分析評価法  2章 薄膜分析・評価対象各論 第4編 薄膜技術の応用と展望  1章 電子デバイス  2章 光部品  3章 ディスプレイ  4章 記録  5章 センサ  6章 環境・エネルギー  7章 有機・バイオデバイス  8章 二次元材料・デバイス

    その他半導体製造装置その他表面処理装置技術書・参考書
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2020版 薄膜作製応用ハンドブック

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基本情報

2020版 薄膜作製応用ハンドブック B5判 1570頁 69,000円+税 ■監修:權田俊一 ■編集:酒井忠司、田畑仁 ■編集協力:八瀬清志、宮崎照宣 ■発行:エヌ・ティー・エス

価格情報

定価:本体69,000円+税

価格帯

1万円 ~ 10万円

納期

2・3日

用途/実績例

電子デバイス 光部品 ディスプレイ 記録 センサ 環境・エネルギー 有機・バイオデバイス 二次元材料・デバイス

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2020版 薄膜作製応用ハンドブック

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