圧電材料/磁性材料対応のドライエッチング装置をご紹介！
日立ハイテクでは『イオンミリング装置』を取り扱っております。 小径の電極で大面積の加工が可能な「拡散ビーム型ミリング装置」と、 実験開発向けに特化した「R＆D用小型ミリング装置」をラインアップ。 当社の豊富な経験からお客様を開発からサポート致します。 【特長】 ＜拡散ビーム型ミリング装置＞ ■小径の電極で大面積の加工が可能 ■φ100mmウェハ×6枚を全数同時処理可能 ■自公転型ウェハホルダーにより良好な面内均一性を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の特長】 ＜R＆D用小型ミリング装置＞ ■実験開発向けに特化したスタンドアローン型装置 ■電装系、電源類等を1台に納めたコンパクト設計 ■φ75、φ100、φ125mmウェハまで対応 ■基板冷却、基板電位中和機能、基板自転、ステージ傾斜付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業理念は、あらゆるステークホルダーから「信頼」される企業を目指し、ハイテク・ソリューションによる「価値創造」を基本とした事業活動を通じ、社会の進歩発展に貢献することであります。 現在、「電子デバイスシステム」「ファインテックシステム」「科学・医用システム」「産業・ITシステム」「先端産業部材」の5つのセグメントで、グローバルな事業展開を行っており、また「商社機能」「メーカー機能」を有機的に統合し先端テクノロジー企業として、お客様のご要望にお応えしてゆきます。