Ti/Al/Ti積層膜のウェットエッチングが可能なAl積層膜エッチング液
Al積層膜を一液で処理可能なエッチング液です。 これまでウェットエッチングが困難だったTi/Al/Ti積層膜にも適用が可能です。 【特徴】 ■Ti/Al/Ti積層膜やMo/Al/Mo積層膜を一括でエッチング可能 ■KSMF-100はMo/Al/Mo積層膜の他、Mo単膜やAl単膜の低テーパーエッチング液としても使用可能 ■KSMF-260はTi/Al/Ti積層膜のテーパーエッチングが可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
■KSMF-100: Mo/Al/Mo積層膜エッチング液 ■KSMF-150: Mo-Nb/Al/Mo-Nb積層膜エッチング液 ■KSMF-260: Ti/Al/Ti積層膜エッチング液 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
＜適用分野・使用用途例＞ ＊FPD、電子部品、タッチパネルなど ＊FPDのTFT電極のパターニングなど
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企業情報
私達は先端規格をクリアするだけでなく、それ以上の水準の高純度試薬を開発・製造するオンリーワンメーカーであることを目指してきました。 また、試薬だけでなく、半導体製造プロセス用の超高純度薬品の規格も、世界に先駆け私達が制定し、現在では世界中の半導体産業に不可欠な機能性薬品においてトップシェアを獲得しています。