独自のスリット技術を駆使した高品質なスリットコーター！
当社では、低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応する 『スリットコーター』を提供しております。 スリットノズルを採用。 リニアでスライドさせ、高い精度で制御することでガラス基板に レジスト液を均一に塗布可能です。 【特長】 ■低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応（粘度：1～10,000cps） ■0.1μmの薄膜から10μmの厚膜まで対応（10μm以上の厚膜も対応可能） ■塗布均一性：±3％以内（当社条件による） ■レジスト使用効率95％以上、省液、低コストを実現 ■操作性、メンテナンス性に優れる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【取扱製品】 ■スリットコーター ■スピンコーター ■スプレーコーター ■塗工機 ■塗布装置 ■コーティング装置 ■コーター装置 ■高粘度用スリットコーター ■高粘度用コーター装置 ■高粘度対応塗布装置 ■その他生産装置 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、半導体装置メーカーとして、培った高い技術力と製造方法及び 品質管理と信頼性という技術力を活かし、ガラス基板に優れた均一性で 塗布するスリットコーターの専門メーカーです。 独自のスリット技術を駆使し、製膜・パターンコーティングなど 高品質な装置を提供しております。