自動回転テーブルの卓上型表面処理装置
光源部と電源部が一体になった非常にコンパクトなUV洗浄装置です。 UVランプ1本で200×200mmの照射サイズができます。 試料台が自動回転するので均一に照射できます 照射距離が5～200mmまで可変でき1mm毎に調節できます
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基本情報
【仕様】 ■寸法：530×586×524H mm ■重量：62kg ■使用ランプ：EUV200GS-14L×1本 ■照射エリア：200×200mm ■照射距離：5～200mm（1mm毎に調整可能です） ■回転テーブル：φ200mm 3.3rpm（50Hz) 4rpm（60Hz） ■入力電源：AC 100V 50/60Hz共用
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
※お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
■親水化による各種表面の濡れ性改善、接着性、密着性の向上 ■有機物分解による高度なドライ洗浄 ■光学系ガラス、ウェハ、基板等の表面改質洗浄 ■ポリイミド等の難接着性プラスチックの接着性の改善
カタログ（3）
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企業情報
セン特殊光源は紫外線を応用した表面処理、改質、硬化、殺菌、脱臭専門メーカーです。