メタルコンタミフリーの誘電体ライニング！超高真空装置に対応できる小型ECR原子ビーム源
『ERS-35』は、MBE等の超高真空装置にも適応できるECR放電型の 小型原子ビーム源(ラジカル源)です。 完全メタルシールにより超高真空装置に対応。 取り扱いが容易な同軸ケーブル給電です。 MBE装置の窒素／酸素ラジカル源や表面クリーニングのための 原子状水素源に応用できます。 【特長】 ■完全メタルシールにより超高真空装置に対応 ■取り扱いが容易な同軸ケーブル給電 ■メタルコンタミフリーの誘電体ライニング ■ラジカルビームの発生に優れた、バイアス電極付きの誘電体引出グリッド ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装置仕様】 ■接続真空ポート規格：ICF70 ■同軸コネクタ規格：N型 ■適合マイクロ波周波数：2.45GHz ■許容マイクロ波電力：最大100W ■冷却方式：水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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納期
用途／実績例
【応用例】 ■MBE装置の窒素／酸素ラジカル源 ■表面クリーニングのための原子状水素源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ノベリオンシステムズ株式会社は、プラズマ応用装置の開発と製造販売、特殊成膜プロセスの加工受託を軸に事業を展開している会社です。技術開発型ベンチャー企業として、新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています。