実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせて、枚葉による高速処理・高洗浄力・低消費薬液が可能。
当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。 ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。 また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありません。 使用薬液は純水ですが、仕様によってはNMP等の有機溶剤も 選定可能です。 【特長】 ■高圧ジェット方式による高い洗浄力 ■2流体、1流体スプレーノズル等の方式が選択可能！ ■高圧ジェットと2流体、1流体スプレーとの組み合わせもが選択可能 ■パーティクル再付着なし ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■使用薬液：純水、NMPなど ■装置サイズ：1330×1550×1900(φ8" 2カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
ウエハ洗浄、マスク洗浄
企業情報
フォトレジストの塗布・露光・現像装置をメインとし、両面露光装置等、フォトリソグラフィープロセス全般および関連プロセス装置の設計・製造・販売を行っております。 特に、凹凸やＶ溝のある基板または、角基板や不定形基板への均一性の高い塗布技術を有しております。さらに、高圧ジェットＮＭＰによるバリ、メタルの再付着の発生の無い剥離・リフトオフ装置を開発し、販売しております。 その他、ポリイミド・ＰＢＦ・ＯＣＤ・ＷＡＸ等各種塗布装置、高温ベーキング装置、スピンドライヤー装置等取り扱っております。 お客様の仕様・予算により装置をカスタマイズしてお作りしております。 また、各種ウェハ、基板等の販売も行っております。
