各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線反射顕微鏡システム
『IR1300RL』は、顕微鏡本体にオリンパス製BX53を使用した 赤外線顕微鏡です。 高解像度赤外線CMOSカメラとイメージエンハンサソフトにより、 各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測できます。 また、独自のイメージエンハンサソフトにより、張り合わせウエハーの アライメントマークずれ計測が可能です。 【特長】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測 ■顕微鏡本体にBX53オリンパス製を使用 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■アライメントマークずれ計測が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装置構成】 ■赤外線顕微鏡本体 ・対物レンズ：5x､10x､20x､50x(オプション：100x） ■赤外線カメラ400万画素 ■デスクトップパソコン又はノートパソコン ■取り扱い説明書 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ディスクテックの画像処理は社内光学系技術者、レーザー技術者、ハードウェア、ソフトウェア、精密機械技術者がトータルソリューションを提供します。赤外線を応用した検査装置、三次元検査装置など手がけています。自社製品の赤外線顕微鏡は10年以上の実績があります。