真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測！計測応用もさまざま
『SP型-RadiMo』は、吸収分光法により基底状態のフッ素ラジカルの 絶対密度の計測ができる装置です。 光源から放射されるプローブ光のスペクトルは、高精度にキャリブレーション されています。 また、発光・非発光プラズマのどちらでも計測することが可能。F-RadiMoは プロセス装置のポートに取り付けることにより計測できるようになります。 【特長】 ■フッ素ラジカルの絶対密度の計測 ■発光、非発光プラズマのどちらでも計測可能 ■絶対密度算出のための較正が必要ない ■F-RadiMoはプロセス装置のポートに取付けて計測可能 ■さまざまな計測応用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラジカル計測応用】 ■プラズマ発生ラジカル計測 ・エッチング装置：低誘電率層間絶縁膜エッチング、シリコン酸化膜エッチング、シリコンエッチング ・表面処理装置：撥水膜堆積、誘電体膜、絶縁膜堆積 ・チャンバークリーニング：シリコン、タングステン ■ダウンフロープラズマ発生ラジカル計測 ■アフターグロープラズマ発生ラジカル計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
KKEは平成三年創立以来、今日まで皆様方の御厚い御支援、御協力を賜り厚く御礼を申し上げます。創立以前は私自身が技術業務に専念しておりました。その当時の学んだ事を糧にKKEは皆様と共に育って参りました。特に規格商品を持たず真空技術分野の「開発、設計、製造」を中心に手掛け、時には「産、官、学」共に御協力させて戴き大変喜ばしい事と存じます。お客様個別の仕様内容に応じ「開発、設計、製造」に最後まで取り組む姿勢を持って御客様のニーズに対し適確な判断の下で今日まで進んで参りました。21世紀の最先端科学技術に対応できる技術、開発指向型の企業を目指し「物創り」で社会に貢献することによって皆様方と共に幸福となるように努力致します。今後ともKKEを宜しくお願い致します。
