真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【導入の効果】 ■真空サーバですべてのロードロックチャンバの真空排気が可能となる ■ポンプ台数が減る ■ポンプ消費電力の低減 ■真空サーバのドライポンプは負荷の少ない圧力領域でフル稼働 ■大規模化、高真空化にも展開できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
有限会社ベックは、真空ポンプのアイドリング中にリザーバを排気する「エコバックシステム」、「ゴム手袋の手袋装着機」、高効率の真空引きシステム「真空サーバー」などを取り扱っている会社です。 当社は、真空装置の節電・生産性向上に貢献します。