カーボン部品の洗浄・付着物除去！新品カーボン導入時の脱ガスベーキング業務も承ります
当社では、独自コンセプトの設計による、超大型、超高温チャンバーによる ドライベーキングクリーニング事業を行っております。 MOCVD装置チャンバー内に使用するカーボン部品を、高温にて ドライクリーニングを行い再生使用可能にし、コスト・廃棄物の削減に貢献。 ベークの脱ガス効果により顧客様製品の品質安定性が向上しております。 また、石英・SiC・SiCコートカーボン部品の洗浄・付着物除去を行う 大型専用チャンバーによるIII-N(GaN/InGaN/AlN)系ドライベーキング洗浄も 行っております。 【ドライベーキングクリーニング事業 特長】 ■カーボン部品の洗浄・付着物除去 ■コスト・廃棄物の削減に貢献 ■顧客様製品の品質安定性向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【ドライベーキング洗浄 特長】 ■石英・SiC・SiCコートカーボン部品の洗浄・付着物除去 ■実験を積み重ねドライ洗浄技術を確立 ■大型チャンバーの設計・導入を実施 ■石英部品・サファイア基板の再生 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は、各メーカーのMOCVD装置、MBE装置等のメンテナンス業務、 それに伴う精密洗浄業務、独自の特殊ベーキングチャンバー等の大規模な 設備でのドライ洗浄サービスを行っております。 当社の業務は、お客様の運営コスト削減にご協力できることはもとより、 廃棄物の削減や廃液の安全な管理・処理を通じて地球環境の維持に貢献しております。