正弦波、放物線、CZPなど、使用用途に合わせた形状・濃度に対応。
エクアでは、高度な画像技術と光学技術により、使用用途に合わせた自由な透過率・濃度曲線に対応しております。 ガラス、フィルム、印画紙など、様々な素材へのパターン形成が選択できます。透過型、反射型、半透過型など、用途に合わせたタイプのグレースケールの形成が可能です。フルカラーの透過型と反射型グラデーションの作成も行っております。 グレースケール部を精密に制御するため、濃度計、二次元測定機、レーザー顕微鏡による製品の検査体制を備えております。
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透過型の正弦波チャートです。製品は合成石英を基板とし、クロムの微細ドットにてグラデーションを表現しています。
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同心円タイプのグラデーションです。グラデーションの形状や周期など、お客様のご希望に合わせて設計いたします。
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白黒印画紙を使用したチャートです。
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株式会社エクア製品紹介
企業情報
株式会社エクアの薄膜製品は、高精度描画装置、高度な薄膜形成技術、ガラス加工技術をもとに生み出されております。ステッパー用、アライナー用フォトマスク、その他汎用マスク、エンコーダー、焦点板、解像力チャートなど微細なフォトエッチング製品に小ロットより対応いたしております。