新規開発のランプ・ユニット設計により従来比6倍以上の高照度エキシマランプを実現！
『高出力エキシマUV照射ユニット』は、ランプ表面照度300ｍW/cm2以上の 強力な真空紫外光（172nm）により、タクトタイム短縮に貢献する 産業用光源です。 ランプ本数が少なく、省スペース化に役立ちます。 また、点滅点灯で消費電力を最小限に抑えることが可能です。 【特長】 ■タクトタイム短縮に貢献 ■点滅点灯で消費電力を最小限に抑制 ■単一波長のため、ワークの低温処理が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■波長：172nm ■照度：300mW/cm2以上（照射距離0ｍｍ） ■軸方向均斉度：±10％以下 ■寿命：2,000Hr（照度維持率70％以上、100Hrを100％と定義） ■有効発光長：120～1,540ｍｍ ■冷却：水冷 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体、液晶基板のドライ洗浄、アッシング ゴムローラ、シリコンシート等の表面改質 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社産業デバイス事業部では、様々な分野・製造プロセスで使用されている 硬化・殺菌・乾燥・加熱といった産業用途において、紫外線領域から 赤外線領域まで「産業用光源・モジュール」を豊富なラインアップで 提供しております。 お客様の商品価値を高める光源として、また生産効率や製品品質を高める 光源・モジュールとして、社会と産業の発展に貢献して参ります。