セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能！加工性に優れた機能材料
『PG』は、CVD法（気相成長法）で製造したグラファイトです。 半導体製造装置部品として優れた性能を発揮し、セラミックスでは 実現が困難な形状が作製できます。 また、銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れています。 【特長】 ■高純度・優れた耐食性 ■優れた加工性 ■高い熱伝導率 ■セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能 ■銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れる（面方向） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特性(抜粋)】 ■密度（g/cm3）：2.2 ■曲げ強度（Mpa）：340 ■圧縮強度（MPa） ・100（a方向） ・250（c方向） ■熱伝導率（W/m・K) ・444（a方向） ・2.2（c方向） ※a方向=面方向、c方向=積層方向 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■エッチング装置部品 ■ウエハトレイ ■電極 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社の機能材料部では、ユニオン・カーバイド・コーポレーションの 中核商材であった炭素・黒鉛製品、特殊セラミック原料・製品に加え、 ナノテクノロジーなど先進技術による、材料・装置をはじめ、 高度な技術サービスをご提供しております。 ご要望の際はお気軽にお問合せください。