超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティング！微細加工技術を通して社会に貢献
株式会社PARAMは、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用する並列型 マルチコラム・マルチビームを用いた電子ビーム技術開発会社です。 近い将来、微細加工技術は5nm以下が必要とされ、用途は人工知能チップはじめ 多くの分野で、開発から量産技術として必要とされています。 当社は各種電子ビーム要素技術と関連技術で皆さまのお役に立てるように 精一杯尽力いたします。 【事業内容】 ■真空用オゾン供給器・除外器の製造販売 ■電子ビームコラムの設計・製造・開発受託 ■電子ビーム制御用電子回路の開発受託 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【電子線高速描画システム技術】 ■マルチビームマルチコラムシステム ■高輝度電子銃 ■小型レンズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社PARAMは、超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティングを行っている会社です。永久磁石を用いたマルチコラム技術・高輝度均一照射長寿命電子銃・プログラマブル形状可変ビーム（PSB)などのコア技術開発を通してデバイス開発製造をとおして社会の発展に貢献していきます。