SiC、GaN、サファイア等の親水性ウェーハでも回収が可能！
『NAC-304』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 自動微量金属汚染物質回収装置です。 カセットでセットした25枚のウェーハを自動で回収。 バルクエッチング後の回収も自動設定で行えます。 【特長】 ■バルクエッチングは200mmと300mmの2種類が可能で、設定は**.*μmと設定 ■バルクエッチングの平坦度は10%以内、エッチング深さの精度は±10%以内 （但し0.3μm以上時）200mmウェーハでは±20%以内 ■1枚のウェーハを何層に分けてのバルクエッチングも可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【その他特長】 ■VPD&回収は125mm～300mmウェーハまで対応が可能 ■表面回収・ベベル回収（疎水面が条件）が可能 ■300mmウェーハの回収時間は疎水面ウェーハでは10分程度 ■回収率はほぼ90%以上 ■装置のクリーン度は一般的な10元素で1×10^8atoms/cm2以下 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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当社は、表面汚染回収装置を活用した様々なニーズにお応えしてきました。 これまで不可能と思われた親水面の汚染回収も可能にした技術で 貴社の悩みを解決に導きます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
